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    项目概况：线宽测试仪及相关安装调试等服务，数量1台。线宽测试仪，该设备在150mm （6英寸）芯片制造中，实现对圆片曝光后线条形貌观察以及线条尺寸测量的功能。要求图形分辨率3nm at 0.8kV，测量范围：0.1um-2um，测量重复性：3sigma≤3nm，放大倍数：1K-300K（SEM）。设备具备200mm （8英寸）升级能力。

    设备交货期：合同签订后6个月。

    质保期：1年。

    本项目招标已委托江苏省设备成套股份有限公司代理，并在江苏省招标投标公共服务平台公开发布。具体报名资格要求、招标文件获取、联系方式等，请点击链接或下载附件阅览。

• 南京新工投资集团有限责任公司所需线宽测试仪及相关安装调试等服务项目-招标公告.pdf(点击下载)