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    项目概况：三腔刻蚀设备及相关安装调试等服务，数量1台。三腔刻蚀设备，以提升产能到5万片/年，该设备在150mm（6英寸）芯片制造中，用于SiO2介质刻蚀，满足技术协议中的硬件和工艺要求。设备具备升级200mm （8英寸）能力。详见招标文件技术要求。

    设备交货期：合同签订后6个月。

    质保期：1年。

    本项目招标已委托江苏省设备成套股份有限公司代理，并在江苏省招标投标公共服务平台公开发布。具体报名资格要求、招标文件获取、联系方式等，请点击链接或下载附件阅览。

• 南京新工投资集团有限责任公司所需三腔刻蚀设备及相关安装调试等服务项目-招标公告.pdf(点击下载)